隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,砷化鎵、磷化銦等二代半導(dǎo)體化合物材料、氮化鎵、碳化硅等三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,對(duì)于濕化學(xué)清洗工藝提出了新要求。在配置傳統(tǒng)獨(dú)立濕處理工藝槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry)的基礎(chǔ)上,新材料清洗設(shè)備按照客戶工藝菜單進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,配液精度、配液種類、清洗方式方面進(jìn)行設(shè)計(jì)提升,同時(shí)保持與行業(yè)廠商、學(xué)校研究院所的積極聯(lián)合探索和設(shè)備定制。
TIME: 2024-10-11有不同的獨(dú)立濕處理工藝槽、按照客戶工藝菜單的設(shè)置,機(jī)械手在各工藝槽中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理。適合用于基片批量的腐蝕/去膠/顯影/清洗等工藝.
TIME: 2024-10-11自動(dòng)供液系統(tǒng)可以通過VMB給多臺(tái)設(shè)備進(jìn)行供液。具有過濾、循環(huán)功能,根據(jù)用戶要求配備雙組或者多組過濾、循環(huán)系統(tǒng);當(dāng)其中一個(gè)桶內(nèi)的液體用完時(shí),能夠自動(dòng)進(jìn)行雙桶切換并且提示用戶。同時(shí)還具備化學(xué)液的取樣檢測(cè)功能。
TIME: 2024-10-11該設(shè)備用于 LTCC、HTCC 和 MLCC 的加壓作業(yè),最 大壓力80MPa,最大直徑600,最小230
TIME: 2024-10-11全自動(dòng)疊層機(jī)是用于生瓷片疊片的設(shè)備,具備自動(dòng)上下料、自動(dòng)切片、自動(dòng)撕膜、自動(dòng)對(duì)位、真空疊壓等功能,廣泛應(yīng)用于LTCC、HTCC、MLCC等領(lǐng)域。
TIME: 2024-10-12該設(shè)備?于生瓷片的疊層,主要將生瓷片正確的堆疊 至多層,具備對(duì)位、自動(dòng)疊層、自動(dòng)加熱、真空除泡等功 能,滿足LTCC、HTCC、MLCC等疊片工藝需求。
TIME: 2024-10-11全自動(dòng)硅塊清洗機(jī)主要用于硅料的清洗處理,以下是其主要用途和特點(diǎn):1.全自動(dòng)硅塊清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè)中對(duì)多晶硅和單晶硅塊料進(jìn)行清洗腐蝕,對(duì)提高硅料表面質(zhì)量和生產(chǎn)效率方面發(fā)揮著重要作用,確保后續(xù)硅片的性能和質(zhì)量。
溫等靜壓機(jī)(WIP)是一種用于在高溫和高壓環(huán)境下處理材料的特殊設(shè)備,主要用于固化聚合物、金屬和陶瓷材料,確保材料的密度和結(jié)構(gòu)完整性。 溫等靜壓機(jī)在多層陶瓷電容及其它薄膜的壓制中的應(yīng)用,也提高了產(chǎn)品的物理性能和電氣性能。