不同的獨立濕處理工藝槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry),按照客戶工藝菜單的設置,機械手在各工藝槽中進行相應的工藝處理。適用于單、雙盒硅片的濕法清洗。設備集成基于SNA專利技術(shù),用于硅片取干的IPA Dry模塊
全自動清洗設備(硅基)
蔡先生
13901955336
蘇州市常熟市通江路305號B區(qū)6幢